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熱絲HFCVD化學氣相沉積設備應用-HF600

2018-06-26 點擊數:

HF600熱絲CVD設備鏈接:http://technol.cn/cpzx/showproduct.php?lang=cn&id=36

 

北京泰科諾科技15年真空行業經驗,獨立研發的熱絲法制備金剛石膜方法填補了國內行業空白,產品獲得多項國家專利和認證。廣泛適用于各大高校、科研院所和生產企業實現教學、研發和中試之目的。目前已初步實現產業化生產。

 

一、制備金剛石厚膜
1、連續沉積40天,膜層厚度2.1mm。
2、可以把厚膜經過激光切割成金剛石刀粒,釬焊在刀架上,制成金剛石釬焊刀具,用于盾構機的高耐磨刀具,用于超精密切削,可用來加工高硅鋁合金、碳纖維材料、各種有色金屬、復合材料、陶瓷和塑料等難加工材料,替代PCD或單晶金剛石刀具。

 

 圖片關鍵詞    圖片關鍵詞     圖片關鍵詞

            ①金剛石厚膜                                 ②金剛石釬焊刀具                   ③金剛石膜顯微鏡照片,表面晶粒明顯

 

二、制備金剛石涂層

1、通過HFCVD方法直接在刀具表面沉積金剛石涂層,可在任意形狀的工具襯底上沉積,應用于加工高硬度材料。

2、金剛石膜的多晶特征所具有的準各向同性,在做拉絲模時,模孔均勻磨損,優于金剛石單晶拉絲模具的使用性能,目前技術已相對比較成熟。

 

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                 ①PCB刀具                                      ②拉絲模具                     ③微米級熱絲金剛石涂層顯微鏡照片

 

三、制備金剛石導電電極涂層
1、金剛石薄膜電極:利用摻雜硼元素,賦予了金剛石薄膜電極優異的電化學特性,如寬的電化學視窗、較低的背景電流、較好的物理化學穩定性及低吸附特性等,使用其優異的性能,適用于有毒、難降解的強酸、強堿等高濃度有機污染物廢水的電化學處理。

 

 圖片關鍵詞

     ①金剛石薄膜電極  

四、更多在開發中的應用項目

——通過HFCVD制備可以作為熱沉片應用的金剛石厚膜;
——制作CVD金剛石細長管,可以應用于高硬度磨料噴射的噴嘴;
——在光滑襯底上直接沉積金剛石薄膜,用于平面耐磨器件對耐磨性和高精度的要求。

 

 

 

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